五軸振鏡雷射加工機
◆ 特點：
1. 高速、高精度定位平台搭配CCD對位取像，確保加工精度、重現性。
2.飛秒雷射搭配五軸雷射振鏡，可針對各種導電及非導電材料進行細微加工。
3.加工鑽孔速度快，且熱效應區 < 2 um，加工面光滑，無材料回融及沉積。
4.可調整五個方向（X、Y、Z，α和β），鑽孔孔形更加靈活有彈性。
5.可進行1：10高深寬比的垂直孔鑽孔，上下孔無孔徑公差。
6.搭配高效率抽塵系統，減少加工粉塵二次污染。
7.視覺定位補孔功能。
| 硬 體 規 格 | 標 準 配 備 | 選 配 |
| 雷射源 | DPSS 飛秒綠光雷射 | 飛秒紅光雷射 |
| 平均雷射功率 | ≧10W | 依客訂 |
| 定位系統 | XYZ平台+ 5軸振鏡 | XYZ1Z2 AB 平台+ 5軸振鏡 |
| 加工範圍(XYZ) | 350x350x100 mm | 依客訂 |
| 對位系統 | 高倍數CCD | |
| 加工能力 | ||
| 對應材料 | Silicon Nitride | |
| 圓孔(Silicon Nitride ,t=0.25mm) | 30μm：3s/孔 | |
| 方孔(Silicon Nitride ,t=0.25mm) | 30μm -R角≦3μm：6s/孔 | |
| 30μm -R角≦5μm：4s/孔 | ||
| 最小Pitch | 40 μm | |
| 尺寸公差 | ± 2 μm | |
| 位置精度 | ± 3 μm | |
| 直直孔深寬比 | 1：10 | |
| 視覺定位補孔功能 | 有 |
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