五軸雷射振鏡加工系統   5 Axis Laser Scanning System

採用五軸振鏡，可選配1030nm 或515nm波長的飛秒雷射源（Femtosecond laser），雷射光束在x、y、 z、α和β方向的定位靈活，可進行幾何形狀的微加工和鑽孔，支援深寬比10：1的方形或圓形垂直孔的鑽孔或切割。配備超短脈衝雷射（USP），切割壁面光滑，無熱效應。

適用於探針卡導板微鑽孔（Probe card guide plate ）、SiN氮化矽陶瓷鑽孔、Photoveel 陶瓷鑽孔、微噴嘴或其他精密零組件的雷射微鑽孔

◆ 雷射鑽孔在很多方面遠勝過放電加工(EDM)、電化學加工(ECM)或機械鑽孔等傳統鑽孔方法：
1. 加工高度靈活
2. 無接觸且無耗損
3. 高速高精度
4. 熱影響區小
5. 孔徑小、高深寬比

豪晶推出雷射五軸微加工系統(5-axis micromachining system)加工服務，搭配超短脈衝(USP)飛秒雷射，對應於金屬和非金屬材質，適用於微米等級的幾何形狀微加工和高深寬比的精確鑽孔，包含雷射切割和結構化，且無需進行後處理。

可應用於航太汽車工業(噴油嘴微鑽孔)、生醫產業(流微道、微結構、心血管支架切割)、半導體產業(SIC、矽晶圓、玻璃晶圓、藍寶石微鑽孔、Probe Card Guide Plate鑽孔、微探針Needle)、微細孔應用(微流體噴嘴、離子束、微細吸嘴、微孔霧化片、噴墨噴孔片)、電子產業(玻璃、軟硬板材加工鑽孔)、金屬加工業(鐘錶微零件、不銹鋼鑽孔)等應用。

我們的機台可處理多種材料，請立即聯絡我們預約時段，可短期試做，亦接受中長期 OEM 委託代工，以及實驗和生產設備製造生產。