雷尼紹(RENISHAW)雷射干涉儀代客量測服務（1）線性量測 （2）直線度量測
在對位置精度要求高的運動系統中，機台實際位置與命令位置之間的任何誤差通常是由環境條件變化、機械磨損或角度俯仰和扭擺等因素造成的。雷射干涉儀提供精準、可重複的校正方法。
採用雷射干涉儀測量機台精度和重複性的方法是，驅動機台的平台移動至由運動系統的讀數控制的一系列預定義位置，然後在每個位置使用雷射干涉儀採集一個讀數。誤差的數值則為機台的控制器讀數與雷射干涉儀讀數之間的差值，擷取誤差值的數值，以對機台執行誤差補償。
（一） 線性測量：用於測量線性位置精度，是最常用的雷射測量形式。
| XL-80 線 性 測 量 | |
| 標 準 範 圍 | 0 m至80 m |
| 精 度（配用XC補償器） | ±0.5 ppm * |
| 解 析 度 | 0.001 µm |
| 最 高 速 度 | 每分鐘240米 (4 m/s) |
| 注：表格中的精度數值未考慮將材料溫度歸一化為20°C時產生的讀數誤差。 | |
| * k=2（95%置信度）EA-4/02，ISO | |
（二） 直線度測量：用於測量沿線性軸的直線度誤差。（測量距離為0.1 m至4 m）
直線度誤差是垂直於運動軸的位移，而垂直方向或水準方向則取決於光學鏡組的安裝方向。直線度誤差通常是由於垂直於驅動系統運動軸的垂直或水準偏差，或導軌的整體準直偏差造成的。誤差是垂直於運動行程的垂直或水準偏差。直線度誤差通常是由於導軌磨損、軸線撞擊或驅動滑塊裝配偏差造成的。
a. 直線度測量（水準軸 — 水準平面）：水平測量平面
b. 直線度測量（水準軸 — 垂直平面）：垂直測量平面
| XL-80 直 線 度 測 量 | ||
| 軸 向 量 程 | 短 距 | 0.1 m至4.0 m |
| 直線度測量範圍 | ±2.5 mm | |
| 精 度 | 短 距 | ±0.5% ±0.5 ±0.15M2 µm |
| 解析度 | 短 距 | 0.01 µm |
| * 使用資料拼接功能可實現更長距離的測量 | % = 所顯示數值的百分率 | |
| M = 測量距離（米） | † 表格中的規格參數未考慮空氣擾動的影響 | |
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